X射線熒光光譜儀是根據X射線熒光光譜的分析方法配置的多通道光譜儀，儀器能夠分析固體或粉狀樣品中各種元素的成分含量。它主要由激發源(X射線管)和探測系統構成。其原理是X射線管通過產生入射X射線(一次X射線)，來激發被測樣品。 受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線(又叫X熒光)，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量或者波長。